特許
J-GLOBAL ID：201503009305708160
対向電極型プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
千葉 剛宏
, 宮寺 利幸
, 大内 秀治
, 仲宗根 康晴
, 坂井 志郎
, 山野 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-265361
公開番号（公開出願番号）：特開2015-122200
出願日： 2013年12月24日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：
【課題】一方の電極が他方の電極に対して傾いて設置された場合であっても、プラズマ化されるガス量を適切に保つ、対向電極型プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】第1電極50と第2電極52との間に供給されたガスが電極間の放電によってプラズマ化され、噴出口14aからプラズマ化されたガスを噴出する対向電極型プラズマ発生装置14であって、第1電極50及び第2電極52は、放電区間Xaにおいて、噴出口14aの端部側で電極間の距離が最も短く、且つ、噴出口14aの端部側よりも上流側では噴出口14aの端部側以上離間している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
対向電極の間に供給されたガスが前記対向電極間の放電によってプラズマ化され、噴出口からプラズマ化されたガスを噴出する対向電極型プラズマ発生装置であって、
前記対向電極は、放電区間において、前記噴出口の端部側で対向電極間の距離が最も短く、且つ、前記噴出口の端部側よりも上流側では前記噴出口の端部側以上離間している
ことを特徴とする対向電極型プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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