特許
J-GLOBAL ID:201503016273164178
レーザ加工装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-207593
公開番号(公開出願番号):特開2015-071175
特許番号:特許第5769774号
出願日: 2013年10月02日
公開日(公表日): 2015年04月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 保持テーブル上に保持された加工対象物に照射するパルス状のレーザビームを出力するレーザ発振器と、
規定のビーム径に集光された前記レーザビームを前記加工対象物上において移動させて前記集光されたレーザビームを前記加工対象物に照射させるレーザビーム移動部と、
を備え、
前記レーザビーム移動部は、前記加工対象物に照射される集光されたレーザビームのビーム中心の軌跡が前記加工対象物に照射される集光されたレーザビームのビーム径より大きい半径を有する円を描く移動パターンおよび特定の周期パターンで、前記集光されたレーザビームを前記加工対象物上において複数周期繰り返して移動させ、
前記レーザ発振器は、前記レーザビームの周波数が前記周期パターンの周波数に対して3以上の定数倍になる条件で前記レーザビームを出力し、
前記複数周期において、前記集光されたレーザビームを、前記ビーム中心の軌跡を前記定数倍における定数の数に分散させて固定した同一のレーザ照射領域に照射して、前記加工対象物に対して穴あけ加工を行うこと、
を特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4件):
B23K 26/38 ( 201 4.01)
, B23K 26/08 ( 201 4.01)
, B23K 26/00 ( 201 4.01)
, B23K 26/064 ( 201 4.01)
FI (4件):
B23K 26/38
, B23K 26/08
, B23K 26/00 N
, B23K 26/064 A
引用特許: