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J-GLOBAL ID：201602200840106620   整理番号：16A0006587

ZnO薄膜を用いたマイクロ振動発電の研究

著者 (5件)： 細川翔多 (東北大 大学院) ,  CAO Ziping (東北大) ,  原基揚 (東北大) ,  長澤純人 (東北大) ,  桑野博喜 (東北大)
資料名： 日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
巻： 47th  ページ： 138-139  発行年： 2012年03月13日 
JST資料番号： L0012A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *発電 ,  クリーンエネルギー ,  *薄膜 ,  圧電体 ,  電気機械 ,  片持梁 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  エネルギーハーベスタ ,  *ZnOフィルム ,  薄膜形成
準シソーラス用語： *マイクロ振動発電 ,  *酸化亜鉛薄膜 ,  成膜 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  発電素子 ,  圧電性

分類 (1件)： その他の発電  (NB03140M)

タイトルに関連する用語 (4件)： ZnO薄膜 ,  マイクロ ,  振動発電 ,  研究