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J-GLOBAL ID：201602216309362900   整理番号：16A0283535

TiNを用いたPt超薄膜水素センサの熱的安定性改善

著者 (5件)： 井並祥太 (岡山大) ,  古川遼 (岡山大 工) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.21P-S322-8  発行年： 2016年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *白金 ,  ガスセンサ ,  熱安定性 ,  気体 ,  水素 ,  抵抗 ,  電流 ,  *超薄膜 ,  金属薄膜 ,  パルス電流 ,  水素ガス ,  *水素センサ ,  *窒化チタン
準シソーラス用語： 熱的安定性

分類 (2件)： 貴金属触媒  (CB06122I) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： TiN ,  Pt ,  超薄膜 ,  水素センサ ,  熱的安定性