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J-GLOBAL ID：201602217683904181   整理番号：16A1199187

MEMS応用を目指した焼結ネオジム磁石の微細加工

著者 (3件)： 藤原良元 (東京工大) ,  土方亘 (東京工大) ,  進士忠彦 (東京工大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 7th  ページ： ROMBUNNO.29pm3-PN-1  発行年： 2015年10月21日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： モバイル機器内蔵小型カメラのレンズ駆動アクチュエータ実現を最終目標とし,MEMS技術を利用した,バルクの焼結磁石に対する,着磁方向のアスペクト比1の交番着磁を検討した。厚み500μmの焼結磁石をポリイミドで接合,ダイシングでスリット加工し,一方向に着磁した後,レーザ加熱により局所的に磁化反転させる手法を提案,実証した。結果,加工により磁気特性を大きく低下させることなく,交番着磁を実現し,理想的な着磁を模擬したシミュレーション値に対し,約9割の磁場が発生していることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *永久磁石 ,  *ネオジム ,  *微細加工 ,  ピッチ【機械要素】 ,  *ボンディング【IC】 ,  *レーザ加熱 ,  アクチュエータ ,  *磁化 ,  アスペクト比 ,  ポリイミド ,  切削 ,  間隙 ,  磁化反転 ,  シミュレーション ,  多重極 ,  電磁アクチュエータ
準シソーラス用語： *焼結磁石 ,  *ネオジム磁石 ,  スリット【構造】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電磁石  (NA05080G)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  応用 ,  焼結 ,  ネオジム磁石 ,  微細加工