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J-GLOBAL ID：201602233940667950   整理番号：16A0929345

電気化学エッチングを利用した黒リンの電気二重層トランジスタ

著者 (4件)： 佐藤洋平 (東大 大学院) ,  高橋敬成 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  笹川崇男 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  上野和紀 (東大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.13p-A25-3  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *トランジスタ ,  *黒リン ,  単結晶 ,  チャネル ,  エッチング ,  *超薄膜 ,  比率 ,  *電気二重層 ,  層状化合物 ,  *半導体薄膜 ,  電気化学エッチング
準シソーラス用語： *電気二重層トランジスタ ,  オンオフ比

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電気化学エッチング ,  黒リン ,  電気二重層トランジスタ