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J-GLOBAL ID：201602252386120566   整理番号：16A0444891

ナノイオン交換リソグラフィによるガラス基板上へのナノスケール銀ドット及び銀細線の作製

著者 (3件)： 杉田充 (東京工大) ,  岸哲生 (東京工大) ,  矢野哲司 (東京工大)
資料名： 日本セラミックス協会年会講演予稿集(CD-ROM)
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.1P110  発行年： 2016年03月01日 
JST資料番号： X0505B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  イオン交換 ,  *ナノ構造 ,  *銀 ,  細線 ,  基板 ,  原子間力顕微鏡 ,  プローブ ,  複層ガラス ,  画像処理 ,  点 ,  パターン形成 ,  ナノメータ加工 ,  ガラス基板 ,  ナノドット
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  描画

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： イオン交換 ,  リソグラフィ ,  ガラス基板 ,  ナノスケール ,  銀 ,  ドット ,  細線 ,  作製