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J-GLOBAL ID：201602278424298314   整理番号：16A0762711

原料交互供給法による酸化スズナノワイヤーの成長と形状制御

Growth and Shape Controllability of SnO₂ Nanowires by Alternate Source Supply

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著者 (2件)： 寺迫智昭 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  矢木正和 (香川高専)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 116  号： 157(CPM2016 24-31)  ページ： 21-26  発行年： 2016年07月15日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スズ(Sn)粉末と水(H₂O)を原料,Au薄膜を触媒とする大気圧CVD法において,SnとH₂Oを時間的に分離して供給する原料交互供給法による酸化スズ(SnO₂)ナノワイヤー(NWs)の気相-液相-固相(VLS)成長の可能性が検討された。X線回折測定及び走査型電子顕微鏡による表面形態観察からSnO₂ NWsの成長が確認された。また原料交互供給技術が成長温度の上昇に伴う直径の増大の抑制に有効であることが明らかになった。またサイクル数が300~700の範囲ではサイクル数に依らず,平均直径はほぼ一定であった。SnO₂ NWsは酸素空孔もしくは格子間スズ原子に起因するオレンジ色発光を示し,その強度は成長温度とともに増加した。(著者抄録)

シソーラス用語： *酸化スズ ,  *化学蒸着 ,  *気相成長 ,  *液相成長 ,  *固相成長 ,  走査電子顕微鏡 ,  *電子顕微鏡観察 ,  *モルフォロジー ,  表面構造 ,  *スズ ,  金属粉末 ,  水 ,  *ナノワイヤ ,  X線回折 ,  *原料 ,  *供給 ,  *空格子点 ,  *格子間原子 ,  黄赤 ,  発光 ,  放射強度 ,  温度 ,  温度依存性 ,  *形状制御 ,  N型半導体 ,  透明導電膜 ,  ガスセンサ ,  光ルミネセンス ,  表面形態 ,  発光強度 ,  成長温度 ,  APCVD ,  酸素空格子点 ,  構造 ,  *サーボ制御
準シソーラス用語： 大気圧化学蒸着 ,  *原料交互供給 ,  酸素空孔 ,  オレンジ色

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 原料 ,  酸化スズ ,  ナノワイヤー ,  成長 ,  形状制御