抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年のLSIはスケーリング則に沿った素子の微細化により高集積化,高速化を実現してきたが,配線層上部のグローバル配線において信号遅延や発熱などが問題となっている。これらの問題を解決するための方法の一つとして光配線層の導入が提案されており,その実現には小型で極低消費電力かつ高効率動作が可能な光源が要求される。我々はLSI上光配線を目的として,低消費電力・高効率動作が期待できるIII-V族半導体薄膜レーザを提案し,これまでに薄膜分布反射型レーザでの低しきい値電流動作およびDFB構造より優れた片方向光出力特性を得た。今回,薄膜分布反射型レーザの高効率動作化に向けた検討を行い,新たに試作したDFB領域長30μm,DBR領域長100μmの素子において,しきい値電流0.42mA,前端面からの外部微分量子効率19%および光出力の前後比9.5が得られた。さらに,最も高い外部微分量子効率が得られたDFB領域長50μm,DBR領域長100μmの素子においては,しきい値電流0.55mA,前端面からの外部微分量子効率29%が得られた。(著者抄録)