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J-GLOBAL ID：201602295204678104   整理番号：16A0619932

磁性流体潤滑を用いた吊下げ型スライディング平面移動テーブルの開発

Development of a suspension type sliding planar motion table using magnetic fluid lubrication

著者 (4件)： Li Xinghui (Division of Advanced Manufacturing, Graduate School at Shenzhen, Tsinghua University, Shenzhen 518055, China) ,  Shinshi Tadahiko (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Hijikata Wataru (School of Engineering, Tokyo Institute of Technology, Tokyo 152-8550, Japan) ,  Morimoto Yoshihiro (Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation, Amagasaki 661-8661, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 87  号： 6  ページ： 065003-065003-8  発行年： 2016年06月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ切断機のレンズ駆動アクチュエータに使われるスライディング平面移動テーブルシステムを開発した。システムは,テーブル下への潤滑油の漏れを防ぎ環境汚染を減らすために,潤滑剤として磁性流体を用いている。移動テーブルは,テーブルとガイド面間の接触と摩擦力を減らすために,電磁石によって生じる引力によってガイド面から吊下げられている。テーブルは,6個の電磁石と非接触変位センサを使って,ガイド面にわたって1回転方向と2並進方向への移動が可能である。実験結果から,テーブルの磁気懸架は,テーブルの静止重量により発生する摩擦と比較して,82.1%だけ摩擦を減らすことがわかった。並進および回転方向において,それぞれ,5μmと20μradの分解能で以て,直径2mm以内の円運動を実現できた。また,3つの移動方向において100Hz以上のバンド幅を実現した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *磁性流体 ,  流体潤滑 ,  *テーブル【機械要素】 ,  レーザ切断 ,  カッタ ,  アクチュエータ ,  潤滑油 ,  潤滑剤 ,  センサ ,  *性質 ,  変位センサ ,  *可動性
準シソーラス用語： 切断機

分類 (1件)： その他の物理実験技術  (BA02080Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 磁性流体 ,  潤滑 ,  吊下げ ,  開発