特許
J-GLOBAL ID：201603003936308929
プラズマを用いた検出方法および検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 畑中 芳実
, 大倉 奈緒子
, 玉利 房枝
, 鈴木 健之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-001945
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145360
特許番号：特許第5946111号
出願日： 2011年01月07日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 放電室と電気的に絶縁状とされた一対の電極を備える導電性部材からなる前記放電室において、2〜30mAの範囲の定電流かつ-150〜-250Vの範囲の定電圧とされた直流電圧を前記一対の電極間に印加するに当たり、一方の電極に対してはマイナスの固定電圧を印加し、他方の電極に対しては前記一方の電極とは異なる電圧値のマイナスの電圧を印加することによりプラズマ発生用ガスから生成したプラズマと被測定物質を含むキャリアガスとを混合することによってイオン化された前記被測定物質および/または前記被測定物質から発生した電子を、
前記放電室に対して絶縁体からなる管を介して電気的に絶縁状態に分離して50〜60mmの距離で接続されるとともに導電体が露出している部分がないように絶縁性部材で内張がなされたコレクタ室内において、前記コレクタ室とは電気的に絶縁状態で配置されたコレクタ電極によって、
前記コレクタ室を接地電位とするとともに、-100〜-200Vの範囲であって前記一対の電極に加える電圧値よりも高い直流電圧を前記放電室に対して印加して前記プラズマの流れ方向において前記絶縁体からなる管の上流側の開口部に接続された前記放電室の電位が、前記絶縁体からなる管の下流側の開口部に接続された前記コレクタ室の電位よりも低くなるように電位差を設けるとともに、
前記コレクタ電極を抵抗器を介して接地状態とすることにより、前記コレクタ室の電位が、前記コレクタ電極の電位よりも低くなるように電位差を設けることで捕集すること
を特徴とするプラズマを用いた検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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