特許

J-GLOBAL ID：201603004735377228

プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置並びに長尺物の製造方法

発明者： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  堤 英伸 ,  中崎 順仁 ,  小川 貴之 ,  水津 啓太
出願人/特許権者： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  株式会社サンライン
代理人 (6件)： 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-237324
公開番号（公開出願番号）：特開2013-097904
特許番号：特許第5946119号
出願日： 2011年10月28日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 長尺状の被処理物に対してプラズマを接触させることによりプラズマ処理を施すプラズマ処理方法において、 前記プラズマには、密度分布にバラツキがあり、 前記長尺状の被処理物を、前記プラズマの密度が高い領域を選択的に螺旋状に進ませて通過させながら前記長尺状の被処理物にプラズマ処理を施すことを特徴とするプラズマ処理方法。

IPC (2件)：

H05H 1/24 ( 200 6.01) ,  D06M 10/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H05H 1/24 ,  D06M 10/02 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 成膜方法およびそれを実施する成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-361788   出願人：ダイヤライトジャパン株式会社
• 同軸マグネトロンプラズマストリッパー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-279012   出願人：国立大学法人長崎大学, ジャパンファインスチール株式会社
• 特開平4-334543