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J-GLOBAL ID：201702238636380150   整理番号：17A0232347

スパッタ法によるエピタキシャルYbFe₂O₄薄膜の作製と評価

著者 (6件)： 河井一成 (岡山大 工) ,  中畑大輝 (岡山大 工) ,  中西真 (岡山大 工) ,  狩野旬 (岡山大 工) ,  池田直 (岡山大 理) ,  藤井達生 (岡山大 工)
資料名： セラミックス基礎科学討論会講演要旨集  (セラミックス基礎科学討論会講演予稿集)
巻： 55th  ページ： 140  発行年： 2017年01月12日 
JST資料番号： L1357A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *イッテルビウム化合物 ,  鉄酸塩 ,  *セラミック膜 ,  反応性スパッタリング ,  材料 ,  *エピタクシー ,  *結晶構造 ,  マルチフェロイック材料

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ法 ,  エピタキシャル ,  薄膜 ,  作製 ,  評価