文献

J-GLOBAL ID：201702239284389282   整理番号：17A1139052

MEMS X線光学系の表面形状測定による鏡配置精度の評価

著者 (10件)： 寺田優 (首都大 理) ,  沼澤正樹 (首都大 理) ,  江副祐一郎 (首都大 理) ,  武内数馬 (首都大 理) ,  伊師大貴 (首都大 理) ,  藤谷麻衣子 (首都大 理) ,  大橋隆哉 (首都大 理) ,  石川久美 (宇宙科研) ,  満田和久 (宇宙科研) ,  森下浩平 (京大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.5p-S44-10  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： MEMS ,  *光学系 ,  形態 ,  計測 ,  配置 ,  精度 ,  評価 ,  *反射鏡 ,  X線望遠鏡 ,  ウエハ【IC】 ,  球面 ,  穴あけ ,  曲率 ,  ビームライン ,  分解能 ,  表面性状 ,  *X線光学系 ,  表面形状 ,  シリコンウエハ ,  *X線ミラー ,  表面うねり
準シソーラス用語： Si基板 ,  *X線反射鏡 ,  うねり【表面】 ,  角度分解能 ,  穴加工 ,  測定

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  X線光学系 ,  表面形状測定 ,  鏡 ,  評価