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J-GLOBAL ID：201702246317813358   整理番号：17A1812470

スパッタ法によるエピタキシャルFe₃O₄-Fe₂TiO₄固溶体薄膜の作製

著者 (5件)： 西村和泰 (岡山大 工) ,  北園昌弘 (岡山大 工) ,  中西真 (岡山大 工) ,  狩野旬 (岡山大 工) ,  藤井達生 (岡山大 工)
資料名： 粉体粉末冶金協会講演概要集  (粉体粉末冶金協会大会講演概要集)
巻： 2017  号： 秋季  ページ： 56  発行年： 2017年11月09日 
JST資料番号： F0815B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化鉄 ,  鉄化合物 ,  チタン酸塩 ,  *固溶体 ,  *セラミック膜 ,  エピタクシー ,  スパッタリング ,  磁気的性質

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ法 ,  エピタキシャル ,  固溶体 ,  薄膜 ,  作製