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J-GLOBAL ID：201702255373298318   整理番号：17A0018459

液中プラズマジェットによる高速膜生成装置の開発

著者 (3件)： 佐藤泰輔 (愛媛大 大学院) ,  朱霞 (愛媛大) ,  豊田洋通 (愛媛大)
資料名： 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集  (日本材料学会四国支部学術講演会講演概要集)
巻： 14th  ページ： 7-8  発行年： 2016年 
JST資料番号： L5884A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *薄膜 ,  構成 ,  *装置 ,  高速度 ,  *液中プラズマ ,  *ダイヤモンド膜 ,  *製造装置 ,  薄膜形成
準シソーラス用語： 成膜

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 液中プラズマ ,  ジェット ,  膜生成 ,  開発