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J-GLOBAL ID：201702280636466011   整理番号：17A1139385

脂質二重膜チャンバーを有するTiO₂製フォトニック結晶の作製と光学特性評価

著者 (10件)： 安藝翔馬 (大阪府大 大学院) ,  前野権一 (大阪府大 大学院) ,  佐藤和郎 (大阪産技研) ,  村上修一 (大阪産技研) ,  山東悠介 (大阪産技研) ,  金岡祐介 (大阪産技研) ,  末吉健志 (大阪府大 大学院) ,  久本秀明 (大阪府大 大学院) ,  遠藤達郎 (大阪府大 大学院) ,  遠藤達郎 (JST-さきがけ)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.6a-PA2-5  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 脂質二分子膜 ,  装置 ,  *酸化チタン ,  *フォトニック結晶 ,  光学的性質 ,  キャラクタリゼーション ,  レジスト ,  パターン転写 ,  走査電子顕微鏡 ,  *チャンバ ,  シリコンウエハ ,  *光学的評価
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  ナノインプリント ,  ポジ型レジスト ,  *光学特性評価 ,  *脂質二重膜

分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 脂質二重膜 ,  チャンバー ,  TiO2 ,  フォトニック結晶 ,  作製 ,  光学特性評価