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J-GLOBAL ID：201702289811444507   整理番号：17A0649117

レーザ局所改質による単結晶SiCの潤滑性向上

著者 (3件)： 小川光希 (東京工大) ,  青野祐子 (東京工大) ,  平田敦 (東京工大)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
巻： 2017  号： 春  ページ： ROMBUNNO.B39  発行年： 2017年05月15日 
JST資料番号： Y0047C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザ ,  *単結晶 ,  *炭化ケイ素 ,  MEMS ,  摩擦力 ,  赤外レーザ ,  *元素分析 ,  *構造解析 ,  Raman分光分析 ,  Auger分光法 ,  *表面改質 ,  *潤滑性 ,  低摩擦 ,  摩擦力顕微鏡 ,  炭素薄膜
準シソーラス用語： カーボン薄膜

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (3件)： レーザ ,  改質 ,  潤滑