特許
J-GLOBAL ID：201703013757683906
有機半導体膜の製造方法、その製造装置および有機半導体基板
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
飯田 敏三
, 赤羽 修一
, 宮前 尚祐
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-013701
公開番号（公開出願番号）：特開2014-146665
特許番号：特許第6154144号
出願日： 2013年01月28日
公開日（公表日）： 2014年08月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 有機半導体化合物を含む液体の液滴を、ノズル先端に設けられた孔の内径が10μm以下であるノズルから基材面に向け吐出し、前記液滴を前記基材面に着弾させて形成する有機半導体膜の製造方法であって、
該製造方法は前記ノズルから前記液滴を吐出するに当たり、該ノズルに設けられた電極に電圧を印加して該ノズルの先端に電界を集中させ、該集中電界の効果により前記液滴を前記基材面に向け吐出、飛翔、着弾させるものであり、
前記ノズルを前記基材面に沿って相対移動させて前記液滴を吐出することにより、前記基材面上に、前記液滴を連続的に、先行着弾した液滴と隣接して線状に着弾させ、液滴同士の接する部分で、先行着弾した液滴の乾燥により生成した有機半導体化合物の結晶の結晶方位に倣って、後行着弾した液滴の結晶化を生起させ、結晶化有機半導体線を形成することを含む、有機半導体膜の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 51/40 ( 200 6.01)
, H01L 51/05 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
H01L 21/368 L
, H01L 29/28 100 A
, H01L 29/28 310 J
, H01L 29/78 618 B
, H01L 29/78 618 A
