特許

J-GLOBAL ID：201703018892396510

電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス

発明者： 真島 豊 ,  寺西 利治 ,  武下 宗平
出願人/特許権者： 国立研究開発法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 平山 一幸
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2014056081
公開番号（公開出願番号）：WO2015-033600
出願日： 2014年03月09日
公開日（公表日）： 2015年03月12日
要約：

デバイスの性能を精度よく発揮させることができる電極対及びその作製方法と、デバイス用基板及びデバイスを提供する。電極対10は、一方の電極10Aと他方の電極12Bとがギャップ17を有して向かい合うように同一面上に設けられており、一方の電極12Aと他方の電極12Bとの向かい合う部分が、互いに近づくにつれてその面から遠ざかるように湾曲している。この電極対10は、初期ギャップを有するように間隔をあけて種電極の対が形成された基板をサンプルとして準備し、サンプルを無電解メッキ液に浸漬する際、一定時間経過すると無電解メッキ液を交換し、その交換回数を調整することにより作製される。その結果、一方の電極12Aと他方の電極12Bとの隙間を一定に保ちながら、対向する面を縦方向に調整することができる。

請求項（抜粋）：

一方の電極と他方の電極とがギャップを有して向かい合うように同一面上に設けられ、 前記一方の電極と前記他方の電極との向かい合う部分が、互いに近づくにつれて前記面から遠ざかるように湾曲している、電極対。

IPC (10件)：

H01L 29/66 ,  H01L 21/288 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/41 ,  B82Y 30/00 ,  B82Y 40/00 ,  H01L 29/06 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 27/10

FI (9件)：

H01L29/66 T ,  H01L21/288 E ,  H01L29/50 M ,  H01L29/44 S ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L29/06 601N ,  H01L27/04 C ,  H01L27/10 451

Fターム (31件)：

4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104DD29 ,  4M104DD53 ,  4M104FF06 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104HH08 ,  5F038AC05 ,  5F038AC14 ,  5F038AZ01 ,  5F038CD13 ,  5F038DF05 ,  5F038EZ01 ,  5F038EZ02 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ15 ,  5F038EZ20 ,  5F083FZ01 ,  5F083FZ10 ,  5F083GA27 ,  5F083HA06 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39