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J-GLOBAL ID：201802288487844547   整理番号：18A0780474

微小多極着磁磁石を用いた2自由度マイクロ電磁アクチュエータの試作

A Two-Degree-of-Freedom Micro Electromagnetic Actuator Utilizing a Fine Pitch and Multi-Pole Magnetized Permanent Magnet

著者 (5件)： 吾妻範栄 (東京工業大学) ,  田中俊也 (東京工業大学大学院) ,  藤原良元 (東京工業大学大学院) ,  進士忠彦 (東京工業大学科学技術創成研究院) ,  鈴木健一 (TDK株式会社)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 84  号： 3  ページ： 289-294(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スマートフォンカメラのための光学画像安定器における使用を目的として,微細ピッチのチェス盤磁気パターンを持つ薄い永久磁石,2層プリントコイル,およびシリコン弾性ガイドウェイから成る2自由度マイクロアクチュエータを提案し,製作した。9.1x9.1xt0.5mmの永久磁石を,磁気特性の損傷を最小にするために,ワイヤ放電加工によって処理した。断熱のための格子パターン化溝を持つ永久磁石は,レーザ支援加熱により多重極磁化された。弾性ガイドウェイを深堀り反応性イオンエッチングを用いて機械加工した。各層コイルにおいて±0.1Aのコイル電流を用いて,XおよびY方向においてそれぞれ1.24および1.66mNの駆動力および211および282μmの位置決め範囲を得た。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 多重極 ,  磁化 ,  *磁石 ,  自由度 ,  電磁気 ,  *マイクロアクチュエータ ,  スマートフォン ,  *カメラ ,  ワイヤ放電加工 ,  イオンエッチング ,  Lorentz力 ,  MEMS ,  多自由度

著者キーワード (12件)： 電磁アクチュエータ ,  永久磁石 ,  MEMS ,  マイクロ磁化 ,  マイクロ加工 ,  弾性ガイドウエイ ,  電磁アクチュエータ ,  永久磁石 ,  MEMS ,  マイクロ磁化 ,  マイクロ加工 ,  弾性ガイドウエイ

分類 (1件)： 電磁機器  (NB10030C)

引用文献 (6件)：

• 1) H. Liu et al.: Piezoelectric MEMS Energy Harvester for Low-Frequency Vibrations with Wideband Operation Range and Steadily Increased Output Power, Journal of Microelectromechanical Systems, 20, 5 (2011) 1131.
• 2) X. Rottenberg et al.: Analytical Model of the DC Actuation of Electrostatic MEMS Devices with Distributed Dielectric Charging and Nonplanar Electrodes, Journal of Microelectromechanical Systems, 16, 5 (2007) 1243 .
• 3) R. Fujiwara et al.: Micromagnetization patterning of sputtered NdFeB/Ta multilayered films utilizing laser assisted heating, Sensors and Actuators A: Physical, 220, (2014) 298 .
• 4) R. Fujiwara et al.: Sub-Millimeter Pitch Multipole Magnetization in a Sintered Nd-Fe-B Magnet Utilizing Laser Heating IEEE Magnetics Letters, 7 (2016) 6500504.
• 5) R. Fujiwara et al.: Reducing the Thickness of Sintered Nd-Fe-B Magnet for MEMS Application, The 28^TH Symposium on Electromagnetics and Dynamics, (2016) 46.

タイトルに関連する用語 (8件)： 微小 ,  多極 ,  着磁 ,  磁石 ,  2自由度 ,  マイクロ ,  電磁アクチュエータ ,  試作