電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平山一幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-535332
特許番号：特許第6283963号
出願日： 2014年03月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板と、一方の電極と他方の電極とがナノギャップを有するように前記基板上に設けられた電極の対と、前記電極の対を直接覆うように設けられた絶縁層と、を備え、前記一方の電極の側面と前記他方の電極の側面と前記基板と前記絶縁層との間に空間が形成されている、デバイス用基板。

IPC (10件)：

H01L 29/66 ( 200 6.01) , H01L 21/288 ( 200 6.01) , H01L 29/417 ( 200 6.01) , H01L 29/41 ( 200 6.01) , B82Y 30/00 ( 201 1.01) , B82Y 40/00 ( 201 1.01) , H01L 29/06 ( 200 6.01) , H01L 21/822 ( 200 6.01) , H01L 27/04 ( 200 6.01) , H01L 27/10 ( 200 6.01)

FI (9件)：

H01L 29/66 T , H01L 21/288 E , H01L 29/50 M , H01L 29/44 S , B82Y 30/00 , B82Y 40/00 , H01L 29/06 601 N , H01L 27/04 C , H01L 27/10 451

引用特許：

審査官引用 (5件)

トンネル磁気抵抗素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-023585 出願人：独立行政法人科学技術振興機構
スイッチング素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-040306 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社船井電機新応用技術研究所, 船井電機株式会社
配線基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-084270 出願人：京セラ株式会社

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