特許

J-GLOBAL ID：201803012011646836

結晶性金属酸化物膜の製造方法。

発明者： 宋 東 ,  三室 伸 ,  羽賀 史浩 ,  星野 真樹 ,  松下 伸広 ,  久保田 雄太
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
代理人 (1件)： 的場 基憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-124618
公開番号（公開出願番号）：特開2017-226580
出願日： 2016年06月23日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

【課題】成膜温度を低温化して成膜コストを削減できる金属酸化物膜の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の金属酸化物膜の製造方法は、成膜溶液中の被成膜基材表面に金属酸化物膜を成膜する成膜工程を備える。 そして、上記成膜溶液が属酸化物膜を構成する金属の金属塩水溶液であり、上記成膜工程が、上記成膜溶液をアンモニア雰囲気中に静置するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

成膜溶液中の被成膜基材表面に金属酸化物膜を成膜する成膜工程を備える金属酸化物膜の製造方法であって、 上記成膜溶液が、上記金属酸化物膜を構成する金属の金属塩水溶液であり、 上記成膜工程が、アンモニア雰囲気中に上記成膜溶液を静置するものであることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。

IPC (3件)：

C01B 13/36 ,  C01F 17/00 ,  C01G 9/02

FI (3件)：

C01B13/36 ,  C01F17/00 A ,  C01G9/02 B

Fターム (33件)：

4G042DA01 ,  4G042DB11 ,  4G042DB12 ,  4G042DB16 ,  4G042DB22 ,  4G042DB23 ,  4G042DB24 ,  4G042DD02 ,  4G042DE02 ,  4G042DE06 ,  4G042DE08 ,  4G042DE14 ,  4G047AA02 ,  4G047AB02 ,  4G047AC03 ,  4G047AD02 ,  4G076AA02 ,  4G076AB06 ,  4G076AB07 ,  4G076AB11 ,  4G076AB12 ,  4G076BA13 ,  4G076BA15 ,  4G076BA43 ,  4G076BA45 ,  4G076BB08 ,  4G076BD01 ,  4G076BD02 ,  4G076BD06 ,  4G076BE12 ,  4G076CA10 ,  4G076CA29 ,  4G076DA30