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J-GLOBAL ID：201902221826585548   整理番号：19A1370277

化学機械研磨を用いたMEMSX線光学系の鏡形状改善

著者 (12件)： 福島碧都 (首都大) ,  藤谷麻衣子 (首都大) ,  石川久美 (宇宙科研) ,  沼澤正樹 (首都大) ,  伊師大貴 (首都大) ,  大坪亮太 (首都大) ,  鈴木光 (首都大) ,  永利光 (首都大) ,  湯浅辰哉 (首都大) ,  大橋隆哉 (首都大) ,  満田和久 (宇宙科研) ,  江副祐一郎 (首都大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.10a-M112-3  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は宇宙X線のための将来衛星への搭載を目指し、MEMS技術を用いた軽量X線望遠鏡の開発を行っている(Ezoe et al. 2010, Ogawa et al. 2013, Isikawa et al. 2017など)。ドライエッチングに...【本文一部表示】

シソーラス用語： *反射鏡 ,  X線反射 ,  MEMS ,  *化学機械研磨 ,  側壁 ,  表面粗さ ,  ばり ,  反射率 ,  X線望遠鏡 ,  研削 ,  反射面 ,  形態 ,  *X線光学系 ,  X線反射率 ,  X線ミラー ,  *機械工作
準シソーラス用語： X線反射鏡

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (2件)： 化学機械研磨 ,  鏡