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J-GLOBAL ID：201902249316539230   整理番号：19A0896816

塩基性ガスアシスト液中成膜法の開拓と酸化亜鉛薄膜の作製

著者 (5件)： 大村葵 (東京工大) ,  久保田雄太 (東京工大) ,  岸哲生 (東京工大) ,  矢野哲司 (東京工大) ,  松下伸広 (東京工大)
資料名： セラミックス基礎科学討論会講演要旨集  (セラミックス基礎科学討論会講演予稿集)
巻： 56th  ページ： 199  発行年： 2018年01月11日 
JST資料番号： L1357A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *セラミック膜 ,  *液相成長 ,  塩基性 ,  気体 ,  乾燥

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 塩基性ガス ,  アシスト ,  液中 ,  成膜 ,  開拓 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  作製