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J-GLOBAL ID：201902249595518780   整理番号：19A2883595

MEMS技術を用いた超軽量X線望遠鏡のALDによるPt膜付加工

著者 (12件)： 伊師大貴 (首都大) ,  江副祐一郎 (首都大) ,  石川久美 (JAXA) ,  沼澤正樹 (首都大) ,  大坪亮太 (首都大) ,  福島碧都 (首都大) ,  鈴木光 (首都大) ,  湯浅辰哉 (首都大) ,  内野友樹 (首都大) ,  作田紗恵 (首都大) ,  満田和久 (JAXA) ,  SOWA M. J. (Veeco/CNT)
資料名： 日本天文学会年会講演予稿集
巻： 2019  号： 秋季  ページ： 243  発行年： 2019年08月20日 
JST資料番号： S0300B  ISSN： 1347-0639  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々はMicro Electro Mechanical System(MEMS)技術を用いた独自の超軽量X線望遠鏡を開発している(Ezoe et al.2010 MST)。厚み300μmのSi基板に幅20μmの曲面微細穴を多数開け、側壁をX...【本文一部表示】

シソーラス用語： 軽量化 ,  *X線望遠鏡 ,  *白金 ,  金属薄膜 ,  *MEMS ,  ウエハ【IC】 ,  化学蒸着 ,  表面粗さ ,  *X線反射率 ,  シリコンウエハ ,  *X線ミラー ,  改変
準シソーラス用語： Si基板 ,  *X線反射鏡 ,  原子層堆積 ,  超軽量 ,  *GEO-X

分類 (2件)： 天文学・天体物理学一般  (DB03000B) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  軽量 ,  X線望遠鏡 ,  ALD ,  Pt