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J-GLOBAL ID：201902253117046581   整理番号：19A0896783

巨大誘電特性を示すTiO₂:(In,Nb)薄膜の作製及び電気的特性の評価

著者 (4件)： 藤田俊樹 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  安井伸太郎 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  谷山智康 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  伊藤満 (東京工大 フロンティア創造共同研セ)
資料名： セラミックス基礎科学討論会講演要旨集  (セラミックス基礎科学討論会講演予稿集)
巻： 56th  ページ： 166  発行年： 2018年01月11日 
JST資料番号： L1357A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化チタン ,  インジウム ,  ニオブ ,  ドーピング ,  *セラミック膜 ,  パルスレーザ蒸着 ,  *誘電率

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (7件)： 誘電特性 ,  TiO2 ,  Nb ,  薄膜 ,  作製 ,  電気的特性 ,  評価