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J-GLOBAL ID：201902266817187617   整理番号：19A1370278

超長時間アニール後のSi微細穴X線光学系の鏡形状評価

著者 (13件)： 伊師大貴 (首都大) ,  江副祐一郎 (首都大) ,  石川久美 (JAXA 宇宙研) ,  沼澤正樹 (首都大) ,  藤谷麻衣子 (首都大) ,  大坪亮太 (首都大) ,  福島碧都 (首都大) ,  鈴木光 (首都大) ,  永利光 (首都大) ,  湯浅辰哉 (首都大) ,  金森義明 (東北大) ,  大橋隆哉 (首都大) ,  満田和久 (JAXA 宇宙研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.10a-M112-4  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は半導体加工技術を応用した独自のSi微細穴X線光学系を開発している(Ezoe et al. 2010 MST, Ogawa et al. 2017MSTなど)。ドライエッチングで厚み300μmのSi基板に幅20μmの曲面微細穴を多数開け...【本文一部表示】

シソーラス用語： *反射鏡 ,  X線反射 ,  細孔 ,  基板 ,  ケイ素 ,  熱処理 ,  表面粗さ ,  反射面 ,  形態 ,  X線望遠鏡 ,  *X線光学系 ,  表面形状 ,  シリコンウエハ ,  X線ミラー ,  熱アニーリング
準シソーラス用語： Si基板 ,  X線反射鏡 ,  形状変化 ,  熱アニール

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (7件)： 長時間 ,  アニール ,  Si ,  微細穴 ,  X線光学系 ,  鏡 ,  評価