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J-GLOBAL ID：201902270112184038   整理番号：19A0147616

パルスアークプラズマ蒸着法によるFe微粒子の作製

著者 (3件)： 本田嵐士 (東京工大) ,  青野祐子 (東京工大) ,  平田敦 (東京工大)
資料名： 日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会論文集(CD-ROM)  (日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 26th  ページ： ROMBUNNO.726  発行年： 2018年11月01日 
JST資料番号： L1936B  ISSN： 2424-287X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： パルスアークプラズマ蒸着法を利用した鉄微粒子の生成法を検討した。高真空中で鉄をプラズマ化し,低蒸気圧溶媒であるポリエチレングリコール(PEG)600中に照射することで捕捉した。プラズマ照射後のPEG中から生成物を分離し,SEM観察を実施した結果,サブマイクロの粒径を有する微粒子の存在が確認された。さらに,紫外可視分光法や動的光散乱法を用いて,パルス数や電圧などの微粒子生成条件と,生成される分散液の特性との相関を分析した。(著者抄録)

シソーラス用語： *アーク放電 ,  *プラズマCVD ,  *鉄 ,  *微粒子 ,  ポリエチレンオキシド ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  スペクトロスコピー ,  光散乱 ,  ナノ構造 ,  *パルスアーク放電 ,  紫外可視分光法 ,  光散乱法 ,  電界放出型走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： ポリエチレングリコール ,  FE-SEM

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： パルス ,  アーク ,  プラズマ蒸着 ,  Fe ,  微粒子 ,  作製