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J-GLOBAL ID：201902270382544620   整理番号：19A0147547

高剥離性と耐摩耗性を有するDLCコーティングの提案

著者 (4件)： 榎本隼 (東京工大) ,  平田祐樹 (東京工大) ,  赤坂大樹 (東京工大) ,  大竹尚登 (東京工大)
資料名： 日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会論文集(CD-ROM)  (日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 26th  ページ： ROMBUNNO.413  発行年： 2018年11月01日 
JST資料番号： L1936B  ISSN： 2424-287X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 樹脂のプレス成形や射出成形で,樹脂と金型の凝着と摩耗による成形不良が発生する。離型剤では,突出部の凝着は防げず,環境負荷が大きいため,代替できるコーティング技術として,DLC膜と銅膜を交互に積層し,熱処理によって剥離性の付与を試みた。DLC膜はプラズマCVD法,銅膜はマグネトロンスパッタリング法を用いて成膜した。熱処理を施さなくても界面での剥離を生じ,耐凝着性を付与することができたが,熱処理によってDLC膜がグラファイト化し,界面に空隙が生じたため,耐摩耗性は低下するものの,剥離性能は大幅に向上した。(著者抄録)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *被覆層 ,  *層間剥離 ,  *耐摩耗性 ,  金属薄膜 ,  銅 ,  プラズマCVD ,  マグネトロンスパッタリング ,  薄膜成長 ,  積層構造 ,  熱処理 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  Raman分光分析 ,  試験装置 ,  *DLC被覆 ,  ボールオンディスク型試験機 ,  薄膜形成 ,  *機械的性質 ,  *耐性
準シソーラス用語： ボールオンディスク試験機 ,  成膜

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 剥離性 ,  耐摩耗性 ,  DLCコーティング ,  提案