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J-GLOBAL ID：201902287662159348   整理番号：19A2619689

プラズマ原子層堆積法を用いたX線光学系のPt膜付け加工

著者 (12件)： 福島碧都 (首都大) ,  伊師大貴 (首都大) ,  江副祐一郎 (首都大) ,  石川久美 (宇宙科研) ,  沼澤正樹 (首都大) ,  大坪亮太 (首都大) ,  鈴木光 (首都大) ,  湯浅辰哉 (首都大) ,  内野友樹 (首都大) ,  作田紗恵 (首都大) ,  満田和久 (宇宙科研) ,  SOWA M. J. (Ultratech)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 80th  ページ： ROMBUNNO.20p-E305-3  発行年： 2019年09月04日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は将来衛星への搭載に向けてMEMS技術を用いた超軽量のX線光学系を開発している(Ezoe et al. 2010 MSTなど)。厚み300 μmのSi基板にドライエッチングを用いて幅20 μmの曲面微細穴を多数形成し、その側壁を反射鏡と...【本文一部表示】

シソーラス用語： プラズマCVD ,  白金 ,  光学系 ,  金属薄膜 ,  反射率 ,  反射鏡 ,  *薄膜成長 ,  X線光学系 ,  X線反射率 ,  *X線ミラー
準シソーラス用語： *X線反射鏡 ,  プラズマ化学蒸着 ,  *原子層蒸着

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  原子層堆積法 ,  X線光学系 ,  Pt