特許

J-GLOBAL ID：201903013210310603

積層体、および薄膜の製造方法

発明者： 酒井 雄樹 ,  東 正樹 ,  重松 圭 ,  清水 啓佑
出願人/特許権者： 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
代理人 (3件)： 森下 賢樹 ,  村田 雄祐 ,  三木 友由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-161385
公開番号（公開出願番号）：特開2019-038715
出願日： 2017年08月24日
公開日（公表日）： 2019年03月14日
要約：

【課題】望ましい磁気特性を有する四重ペロブスカイト化合物の薄膜およびその製造方法の提供にある。【解決手段】積層体10は、擬立方晶表記で格子定数が3.5〜3.8Åである化合物からなる単結晶の基板12と、基板12上に積層された、下記式(1)で表される化合物からなる薄膜14と、を備える。RCu3(Mn4-xMx)O12 ・・・(1)[式中、Rは、希土類元素、または2種以上の希土類元素の組み合わせ、または1種以上の希土類元素とCaとの組み合わせ(ただし、Rに占めるCaの割合が50%以下)を示し、 Mは、Al、Ti、V、Cr、Fe、Co、Ni、RuおよびReからなる群より選択される1種の元素を示し、 0≦x≦2を満たす。]【選択図】図1

請求項（抜粋）：

擬立方晶表記で格子定数が3.5〜3.8Åである化合物からなる単結晶の基板と、 前記基板上に積層された、下記式(1)で表される化合物からなる薄膜と、を備えることを特徴とする積層体。 RCu3(Mn4-xMx)O12 ・・・(1) [式中、Rは、希土類元素、または2種以上の希土類元素の組み合わせ、または1種以上の希土類元素とCaとの組み合わせ(ただし、Rに占めるCaの割合が50%以下)を示し、 Mは、Al、Ti、V、Cr、Fe、Co、Ni、RuおよびReからなる群より選択される1種の元素を示し、 0≦x≦2を満たす。]

IPC (6件)：

C30B 29/22 ,  C30B 25/02 ,  H01F 10/18 ,  H01F 10/28 ,  H01F 41/20 ,  H01F 1/03

FI (6件)：

C30B29/22 ,  C30B25/02 ,  H01F10/18 ,  H01F10/28 ,  H01F41/20 ,  H01F1/03 113

Fターム (25件)：

4G077AA03 ,  4G077AB05 ,  4G077BC21 ,  4G077DA03 ,  4G077ED06 ,  4G077EJ04 ,  4G077FE02 ,  4G077PJ01 ,  4G077TA04 ,  4G077TB08 ,  4G077TK01 ,  5E040AB09 ,  5E040AB10 ,  5E040CA20 ,  5E040HB15 ,  5E040NN02 ,  5E040NN06 ,  5E040NN12 ,  5E040NN15 ,  5E049AB09 ,  5E049AB10 ,  5E049BA30 ,  5E049CB01 ,  5E049DB04 ,  5E049HC01