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J-GLOBAL ID：202002215449615466   整理番号：20A0848576

プラズマ入射束制御技術を用いた酸化・窒化による機能性材料の形成

Formation of Functional Materials by Oxidation/Nitridation using Ion/Radical Flux Control Technique

著者 (4件)： 竹中弘祐 (大阪大 接合科研) ,  内田儀一郎 (大阪大 接合科研) ,  節原裕一 (大阪大 接合科研) ,  岡田健 (東北大 流体科研)
資料名： 東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学国際研究教育拠点活動報告書  (Activity Report. Joint Usage/Research Center. Fluid Science Global Research and Education Hub, Institute of Fluid Science, Tohoku University)
巻： 2018  ページ： 225-226  発行年： 2020年03月 
JST資料番号： L8072A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  入射束 ,  制御技術 ,  酸化 ,  窒化 ,  機能性材料