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J-GLOBAL ID：202002216644123135   整理番号：20A0117631

分光エリプソメトリーを用いた酸化チタンパッシベーション膜のポストアニール効果に関する研究

著者 (7件)： 後藤和泰 (名古屋大 工) ,  三浦裕之 (名古屋大 工) ,  清水彩子 (名古屋大 工) ,  中川裕太 (名古屋大 工) ,  宮川晋輔 (名古屋大 工) ,  黒川康良 (名古屋大 工) ,  宇佐美徳隆 (名古屋大 工)
資料名： フロンティア太陽電池セミナー  (フロンティア太陽電池セミナー要旨集)
巻： 4th  ページ： 59  発行年： 2019年 
JST資料番号： L3188C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.はじめに.近年、原子層堆積(ALD)法により製膜した酸化チタンを用いた結晶シリコン(c-Si)太陽電池の研究が活発に行われている。我々は、塩酸、過酸化水素、純水の混合液体(SC2溶液として知られる)を用いてc-Siを事前酸化してSiOx...【本文一部表示】

シソーラス用語： 偏光解析法 ,  *太陽電池 ,  *セラミック膜 ,  不動態化 ,  焼なまし ,  化学蒸着 ,  酸化ケイ素 ,  多層膜 ,  膜厚 ,  混合気体 ,  温度依存性 ,  素子構造 ,  *結晶シリコン太陽電池 ,  ヘテロ構造 ,  *酸化チタン薄膜 ,  改変
準シソーラス用語： 分光エリプソメトリ ,  *酸化チタン膜 ,  パッシベーション ,  ポストアニール処理 ,  ALD【蒸着】 ,  フォーミングガス

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分光エリプソメトリー ,  酸化チタン ,  パッシベーション膜 ,  アニール効果 ,  研究