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J-GLOBAL ID：202002217877798074   整理番号：20A2239417

原子層堆積法の宇宙X線望遠鏡への応用

Application of atomic layer deposition to astronomical X-ray telescopes

著者 (11件)： 福島碧都 (首都大) ,  伊師大貴 (首都大) ,  江副祐一郎 (首都大) ,  石川久美 (宇宙科研) ,  沼澤正樹 (首都大) ,  大坪亮太 (首都大) ,  鈴木光 (首都大) ,  湯浅辰哉 (首都大) ,  内野友樹 (首都大) ,  作田紗恵 (首都大) ,  満田和久 (宇宙科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.15a-D511-10  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は、将来衛星への搭載に向けてMEMS(マイクロマシン)技術を用いた軽量なX線望遠鏡を開発している。厚み300μmのSi基板にドライエッチングで幅20μmの微細な曲面穴を形成し、その側壁をX線反射鏡として用いる。高温アニールでX線反射に...【本文一部表示】

シソーラス用語： 高温 ,  プラズマ ,  焼なまし ,  反射率 ,  ケイ素 ,  ニッケル ,  白金 ,  重金属 ,  X線反射 ,  金属薄膜 ,  *X線望遠鏡 ,  ドライエッチング ,  純金属 ,  MEMS ,  薄膜形成

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子層堆積法 ,  宇宙 ,  X線望遠鏡 ,  応用