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J-GLOBAL ID：202002221599428735   整理番号：20A0844673

微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討

Processing method for improving performance of bipolar electrostatic chuck with micro hairy structure

著者 (5件)： 河鰭康平 (東京工大) ,  田岡祐樹 (東京工大) ,  HEMTHAVY Pasomphone (東京工大) ,  高橋邦夫 (東京工大) ,  齊藤滋規 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F07  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ステンレス鋼をワイヤ放電加工することにより,微細化を実現し,エッチング加工に比べて加工工程が簡易となる微細毛構造を有する双極型静電チャックの開発を行った.はじめに,ステンレス鋼をワイヤ放電加工し,加工した2片の間に絶縁シートを挟むことで静電チャックデバイスを製作し,吸着力を測定した.次に,吸着力と表面形状についてエッチング加工で製作したデバイスと比較を行い,本手法の有効性を示した.(著者抄録)

シソーラス用語： *チャック ,  ステンレス鋼 ,  ワイヤ放電加工 ,  精密化 ,  吸着 ,  把持【操作】 ,  ウエハ【IC】 ,  *微細加工 ,  *静電チャック
準シソーラス用語： 微細化

分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  静電機器  (NB10020R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (2件)：

• 田尻ら, 2016年度精密工学会春李大会学術講演会講演論文集, pp.505-506 2016.
• Choi S, Wakabayashi K, Takahashi K and Saito S 2018 J. Micromech. Microeng. 28 125011

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細 ,  毛 ,  静電チャック ,  性能向上