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J-GLOBAL ID：202002229228348926   整理番号：20A0844672

複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法の開発

Development of manufacturing method of micro-hair electrostatic chuck by water jet processing of composite material

著者 (5件)： 凌智寛 (東京工大) ,  田岡祐樹 (東京工大) ,  HEMTHAVY Pasomphone (東京工大) ,  高橋邦夫 (東京工大) ,  齊藤滋規 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F05  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細毛静電チャックは表面に凹凸のある対象の把持を目標とするが,3Dプリンターによる既存の製造手法では精度の高いデバイスの大量生産が困難であった。本研究ではウォータージェット加工機を用いて複合材を切断加工することでデバイスを作成し,凝着力を測定した。3Dプリンターによるデバイスに比べ凝着力は向上し,デバイス積層による大面積化においても十分な性能を確認し新たな製造手法としての有用性を示した。(著者抄録)

シソーラス用語： *チャック ,  *切断 ,  *把持【操作】 ,  複合材料 ,  付着 ,  誘電体 ,  操作 ,  *ウォータジェット切断 ,  *静電チャック
準シソーラス用語： 凝着

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  静電機器  (NB10020R)

引用文献 (2件)：

• 林ら,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 pp.449-450 2019.
• 林ら,2019年度 MRS Fall Meeting

タイトルに関連する用語 (6件)： 複合材 ,  ウォータージェット加工 ,  毛 ,  静電チャック ,  手法 ,  開発