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J-GLOBAL ID：202002245696678944   整理番号：20A2464749

X線光電子顕微鏡を用いたDLC膜の損傷解析

Investigation of Damage area on DLC film surface using X-ray Photoemission Electron Microscopy

著者 (10件)： 赤坂大樹 (東京工大) ,  SARAYUT Tunmee (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  UKIT Rittihong (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  富所優志 (東京工大) ,  CHANAN Euaruksakul (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  RATCHADAPORN Supruangnet (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  HIDEKI Nakajima (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  法月奏太 (東京工大) ,  平田祐樹 (東京工大) ,  大竹尚登 (東京工大)
資料名： 日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会論文集(CD-ROM)  (日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 27th  ページ： ROMBUNNO.206  発行年： 2019年 
JST資料番号： L1936B  ISSN： 2424-287X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜の熱や摺動による損傷を放射光を用いたX線吸収微細構造併用型のX線光電子顕微鏡(X-PEEM)を用いて解析する事でこれらの損傷導入による炭素の結合状態の変化を評価した。このDLC膜のX-PEEM観察より,摺動試験後には摩擦・摩耗により炭素のsp²/sp³結合に分布が生じ,膜からの水素の脱離も示唆された。また,DLC膜の加熱によるsp²/sp³結合比の変化についても観測した。sp²/sp³構造の分布が均一な場合には均一に膜が変化していくことが示された。(著者抄録)

シソーラス用語： *放出形顕微鏡 ,  *DLC膜 ,  *解析 ,  滑り摩耗 ,  光電子顕微鏡 ,  *損傷解析 ,  機械的性質 ,  性質
準シソーラス用語： 摺動摩耗

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： X線 ,  光電子顕微鏡 ,  DLC膜 ,  損傷解析