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J-GLOBAL ID：202002256858904460   整理番号：20A2052156

積層型圧電素子の液冷の研究

著者 (3件)： 西田莉那 (東京工大) ,  鍾建朋 (東京工大) ,  進士忠彦 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2020  号： 秋季  ページ： ROMBUNNO.C0208  発行年： 2020年08月20日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 積層型圧電素子は,大きな発生力と高い応答性,優れた微動性を有することから,高応答かつ超精密な位置決め用アクチュエータとして加工機などに用いられる.しかし,素子の高周波かつ大振幅での長時間駆動は,誘電損失や電気抵抗などに由来する発熱により,素子を保護する樹脂の損傷やキュリー温度への到達による圧電性の消失を招く.本論文では,電気的に安定なシリコーンオイルを用いて積層型圧電素子の強制冷却を行い,その効果を確認したので報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *積層構造 ,  *応答特性 ,  *位置決め ,  *アクチュエータ ,  HF【周波数】 ,  誘電損失 ,  発熱 ,  Curie温度 ,  *シリコーン油 ,  電気抵抗 ,  液冷却 ,  熱電対 ,  ロードセル ,  温度センサ ,  固有振動数 ,  周波数特性 ,  *圧電効果 ,  *強制冷却 ,  超精密 ,  予圧 ,  温度計 ,  計測器
準シソーラス用語： 加工機

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (3件)：

• 櫻田陽, 森英季, 江藤真人, 長縄明大, 渋谷嗣, 大日方五郎, “積層型圧電素子を用いたアクチュエータにおける強制冷却の効果”, 2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,pp.29-30 (2012)
• 西田莉那,韓冬,進士忠彦,“高速ステアリングミラー用多自由度圧電駆動セグメント鏡の開発”,2018年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,pp. 477-478 (2018)
• 西田莉那,韓冬,鍾建朋,進士忠彦,“高速ステアリングミラー用圧電駆動セグメント鏡の機構設計と性能評価”,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,pp. 748-749 (2019)

タイトルに関連する用語 (3件)： 積層型圧電素子 ,  液冷 ,  研究