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J-GLOBAL ID：202102224490251813   整理番号：21A0959719

集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発

Attachment of thin film to curved surface using electrostatic chuck with collective beam structure

著者 (3件)： 林輝道 (東京工大) ,  田岡祐樹 (東京工大) ,  齊藤滋規 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2021  号： 春季  ページ： ROMBUNNO.C0330  発行年： 2021年03月03日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究の目的は,集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた薄膜対象物の曲面貼り付け手法の開発である.具体的には,三次元造形法で作成した静電吸着デバイスを用いて曲面に対する薄膜貼り付け実験を行い,薄膜貼り付け時の梁先端の変形に着目することによって,曲面内の正確な位置への貼り付けが可能なデバイス軌道を提案し,その際に梁にかかる力を解析することによって薄膜対象が曲面に密着する条件を検証した.(著者抄録)

シソーラス用語： *吸着 ,  *静電気 ,  曲面板 ,  構造部材 ,  薄膜 ,  電子装置 ,  携帯型 ,  *フレキシブル基板 ,  ウェアラブルデバイス ,  *静電吸着 ,  梁材
準シソーラス用語： 梁部材

分類 (1件)： 静電機器  (NB10020R)

引用文献 (4件)：

• Hemthavy, Pasomphone, et al. ′′Compliant bipolar electrostatic gripper using 3D-printed-layered elastic probes.′′ Engineering Research Express 2.1 (2020): 015013.)
• 吉田和司, and 河内政隆. ′′軟質媒体の変形挙動解析: 第1報, 紙葉類のばね-質量梁モデルの検討.′′ 日本機械学会論文集 A 編 58.552 (1992): 1474-1480.
• 増田昭博, 飯田浩史, and 原田征. ′′ポリ乳酸リアクティブブレンドのモルフォロジー解析.′′ 成形加工 23.11 (2011): 659-663.
• 鎌田弘, and 加藤宏. ′′用紙の力学的特性.′′ 材料 33.366 (1984): 356-360.

タイトルに関連する用語 (8件)： 集合 ,  静電吸着 ,  曲面 ,  薄膜 ,  対象物 ,  貼り付け ,  手法 ,  開発