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J-GLOBAL ID：202102229554391573   整理番号：21A0696958

広視野MEMS Lobster eye X線光学系の開発

Development of MEMS Lobster eye optics for wide-field X-ray monitor

著者 (13件)： 湯浅辰哉 (東京都大) ,  江副祐一郎 (東京都大) ,  石川久美 (JAXA 宇宙研) ,  沼澤正樹 (理研) ,  伊師大貴 (東京都大) ,  福島碧都 (東京都大) ,  鈴木光 (東京都大) ,  内野友樹 (東京都大) ,  作田紗恵 (東京都大) ,  稲垣綾太 (東京都大) ,  上田陽功 (東京都大) ,  廣本悠透 (東京都大) ,  満田和久 (国立天文台)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.10a-Z14-6  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は、マイクロマシン(MEMS)技術を用いた超軽量X線光学系を開発してきた(Ezoe et al. 2010MST, Ogawa et al.2017 MSTなど)。厚さ300μmのSi基板に幅20μmの曲面穴をドライエッチングにより形成...【本文一部表示】

シソーラス用語： X線照射 ,  結像 ,  焼なまし ,  対称性 ,  反射鏡 ,  望遠鏡 ,  *光学系 ,  光学顕微鏡 ,  細孔 ,  集光 ,  ドライエッチング ,  *MEMS ,  シリコンウエハ ,  光軸 ,  *広視野

分類 (3件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  X線技術  (BA02060D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 広視野 ,  MEMS ,  X線光学系 ,  開発