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J-GLOBAL ID：202102242989485796   整理番号：21A0253702

Pt超薄膜型水素センサの形状最適化

Optimization of Pt ultra-thin film pattern for hydrogen sensor

著者 (8件)： 合田悠斗 (岡山大) ,  平田哲朗 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  近藤健二 (リコー電子デバイス) ,  高橋琢哉 (リコー電子デバイス) ,  上田尚宏 (リコー電子デバイス) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 35th  ページ： ROMBUNNO.31am3-PS-141  発行年： 2018年10月23日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 白金 ,  *超薄膜 ,  *ガスセンサ ,  *形状最適化 ,  電流 ,  脱離反応 ,  時間 ,  *水素センサ ,  パルス電流 ,  *改変
準シソーラス用語： Pt ,  回復時間

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (4件)： PT ,  超薄膜 ,  水素センサ ,  形状最適化