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J-GLOBAL ID:202102249667578824   整理番号:21A3254155

Conditional GANによる結晶方位情報を埋め込んだ光学イメージから蛍光イメージへの変換-光学イメージ群の選択に関する検討-

Image translation from optical image with embedded crystallographic orientation information to photoluminescence image by conditional GAN-a study of selection of optical images-
著者 (5件):
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巻: 121  号: 217(IMQ2021 6-8)  ページ: 8-11 (WEB ONLY)  発行年: 2021年10月15日 
JST資料番号: U2030A  ISSN: 2432-6380  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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多結晶シリコンウェハに対して,入射光の方位を変えると粒の結晶方位に応じた反射光の変化を見ることができる.これらの結晶方位情報をもつ光学イメージから3枚を選択し,擬似的にカラー画像化した光学イメージから転位領域を可視化できる蛍光イメージへの変換をconditional GANによって行った.粒の抽出のため,照明光の方位が大きい光学イメージの組みと,転位領域の再現のため,隣接した配置での組みを選択することが有用である可能性を示唆する結果を得た.(著者抄録)
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
引用文献 (11件):
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