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J-GLOBAL ID：202102254215225044   整理番号：21A1935110

気相精密大量合成とソフトランディング法による超原子ナノクラスター集積膜の作製とその電気特性評価

Fabrication and Electrical Characterization of Naked Superatom Assembled Films based on High Intensity Nanocluster Source and Soft Landing

著者 (5件)： 横山高穂 (慶応大 理工) ,  千葉竜弥 (慶応大 理工) ,  平田直之 (慶応大 理工) ,  渋田昌弘 (慶応大 理工) ,  中嶋敦 (慶応大 理工)
資料名： 日本化学会春季年会講演予稿集(Web)  (日本化学会春季年会(Web))
巻： 101st  ページ： ROMBUNNO.A05-4pm-03 (WEB ONLY)  発行年： 2021年 
JST資料番号： U2384A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 原子が数個から数十個集まったナノクラスターの中には,幾何的,電子的な安定性の高さから超原子と呼ばれるナノクラスターがあり,この超原子の集積による新たな材料への展開が期待される。本研究では裸の超原子である金属内包シリコンケージクラスターを気相合成し,基板へ蒸着することで超原子同士が直接接合した集積薄膜を作製した。電気特性評価の結果,電気伝導機構を解明し孤立系での電子構造との相関を明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *原子 ,  *ナノクラスタ ,  クラスタ形成 ,  化学合成 ,  マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *電気伝導率 ,  *薄膜 ,  *ケイ素 ,  バナジウム ,  ニオブ ,  タンタル ,  電子構造 ,  ホッピング伝導 ,  気相合成 ,  篭状化合物
準シソーラス用語： かご型化合物 ,  *超原子

分類 (2件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 気相 ,  ソフトランディング ,  超原子 ,  ナノクラスター ,  集積 ,  作製 ,  電気特性 ,  評価