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J-GLOBAL ID：202102258461897216   整理番号：21A0696331

中性粒子ビームによるNb表面酸化膜組成がQ値に与える影響

Effect of Nb surface oxide composition by Neutral beam on Q value

著者 (9件)： 紺野太壱 (東北大 流体科研) ,  大堀大介 (東北大 流体科研) ,  日高睦夫 (産業技術総合研) ,  遠藤和彦 (産業技術総合研) ,  向井寛人 (東京理大) ,  TSAI J.S. (東京理大) ,  寒川誠二 (東北大 流体科研) ,  寒川誠二 (東北大 AIMR) ,  寒川誠二 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.8p-Z27-2  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【緒言】AI・IoT社会の発展により膨大なデータを解析し、高速に最適解を得ることが求められている。経路最適化を始めとする総当たり計算に対して、量子コンピュータを用いることで高速化できることが分かっている[1]。量子ビットに情報を入出力するた...【本文一部表示】

シソーラス用語： エッチング ,  界面 ,  共振器 ,  *酸化 ,  ケイ素 ,  *ニオブ ,  酸化物 ,  *酸化膜 ,  加工条件 ,  *Q値 ,  フッ化硫黄 ,  スパッタ蒸着 ,  イオンエッチング ,  絶縁体 ,  *化成皮膜
準シソーラス用語： エッチング速度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 中性粒子ビーム ,  Nb ,  表面酸化 ,  膜組成 ,  Q値