研究者
J-GLOBAL ID:200901038234147051   更新日: 2020年09月01日

寒川 誠二

サムカワ セイジ | Samukawa Seiji
所属機関・部署:
職名: 教授
その他の所属(所属・部署名・職名) (1件):
  • 東北大学  慶應義塾大学訪問教授、大阪大学工学研究科非常勤講師、財団法人機器研究会評議員、NEDO技術委員
ホームページURL (2件): http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/c79e037b6f7ca3382e241942d51ec459.htmlhttp://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/c79e037b6f7ca3382e241942d51ec459.html
研究分野 (4件): 電子デバイス、電子機器 ,  プラズマ科学 ,  応用物理一般 ,  薄膜、表面界面物性
研究キーワード (6件): ナノデバイス ,  表面科学 ,  バイオ ,  原子分子操作 ,  ビーム ,  プラズマ
競争的資金等の研究課題 (4件):
  • 2004 - 現在 バイオテクノロジーとナノテクノロジーの融合による革新的デバイス開発
  • 2000 - 現在 ダメージフリープラズマエッチングプロセス
  • 2000 - 現在 究極のトップダウン加工プロセス(中性粒子ビーム)
  • 2001 - 2006 高精度プラズマプロセス用オンウエハーモニタリング
論文 (570件):
MISC (62件):
特許 (67件):
  • 成膜方法及び熱処理装置
  • 低誘電率膜
  • 遷移金属膜の酸化処理方法および酸化処理装置
  • 成膜方法及び熱処理装置
  • 基板処理装置
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書籍 (3件):
  • Intelligent Nanosystems for Energy, Information and Biological Technologies
    Springer 2016
  • Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System
    Springer 2014
  • 新版 ULSIデバイス・プロセス技術
    コロナ社 2013
講演・口頭発表等 (614件):
  • マイクロLED技術の現状と今後の展開
    (GaN系材料の原子層無損傷加工技術, 応用物理学会 シリコンナノテクノロジー分科会 第220回研究集会 2019)
  • Atomic Layer Etching, Deposition and Modification Processes for Novel Nano-materials and Nano-devices
    (3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 2019)
  • Atomic Layer Defect-free Etching for Future sub-10nm Nano-devices
    (2019 International Electron, Devices and Materials Symposium 2019)
  • Creating Green Nanostructures and Nanomaterials for Advanced Energy Nanodevices
    (IEEE Distinguished Lecturer Program (Universiti Malaysia Perlis 2019)
  • Creating Green Nanostructures and Nanomaterials for Advanced Energy Nanodevices
    (IEEE International Microwave, Electron Devices & Solid-State Circuit Symposium (IMESS) 2019 2019)
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委員歴 (82件):
  • 2013/04 - 現在 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference International Advisory Committee
  • 2013/04 - 現在 IEEE International NanoElectronics Conference 2014 Chair of Steering Committee
  • 2013/04 - 現在 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference 国際諮問委員
  • 2013/04 - 現在 IEEE International NanoElectronics Conference 2014 実行委員長
  • 2011/04 - 現在 IEEE International Nanoelectronics Conference 組織委員
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受賞 (22件):
  • 2019 - IEEE IEEE Distinguished Lecturers 2019 Creating Green Nanostructures and Nanomaterials for Advanced Energy Nanodevices
  • 2018/12 - IEEE International Electron Device Meeting IEEE Fellow
  • 2016/08/25 - IEEE 16th International Conference on Nanotechnology Best Paper Award
  • 2015/11/20 - International Electron Devices and Materials Symposium 2015 International Electron Devices and Materials Symposium 2015 Best Paper Award Miniband Dependence on the Density of Ge/Si Quantum Dots for Solar Cell Application
  • 2012/06/30 - IEEE Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) Senior Member
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所属学会 (10件):
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 ,  物理学会原子衝突協会 ,  電気学会電子衝突断面積専門調査委員会 ,  電気学会専門調査委員会”非平衡プラズマのモデリングと微細加工” ,  米国物理学会 ,  応用物理学会反応性プラズマ国際会議 ,  応用物理学会国際マイクロプロセスコンファレンス論文委員 ,  American Vacuum Society ,  電気学会ドライプロセスシンポジウム ,  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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