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J-GLOBAL ID：202102275546929752   整理番号：21A1574756

中性粒子ビームプロセスによるNb表面酸化膜制御とQ値に与える影響

Control of Nb Surface Oxide Film by Neutral Beam Processes and Effect on Q Value

著者 (10件)： 紺野太壱 (東北大 流体科研) ,  大堀大介 (東北大 流体科研) ,  日高睦夫 (産業技術総合研) ,  遠藤和彦 (産業技術総合研) ,  向井寛人 (東京理大) ,  TSAI J.S. (東京理大) ,  TSAI J.S. (理研 CEMS) ,  寒川誠二 (東北大 流体科研) ,  寒川誠二 (東北大 AIMR) ,  寒川誠二 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 68th  ページ： ROMBUNNO.18p-Z27-7  発行年： 2021年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： 共振器 ,...

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分類 (2件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (5件)： 中性粒子ビーム ,  プロセス ,  Nb ,  酸化膜 ,  Q値