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J-GLOBAL ID：202102280391789683   整理番号：21A0959673

シリコーンオイルを用いた液冷により温度制御した積層型圧電素子の高周波駆動時の変位特性

著者 (3件)： 西田莉那 (東京工大) ,  鍾建朋 (東京工大) ,  進士忠彦 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2021  号： 春季  ページ： ROMBUNNO.C0206  発行年： 2021年03月03日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 積層型圧電素子は,連続的な大振幅・高周波駆動時に,誘電損失や電気抵抗のジュール熱により温度が上昇し,入力電圧に対する変位特性が変化する.変位特性の変化は,圧電素子を用いた位置決め機構のフィードバック制御系の安定性に影響を与える.本報では,電気的に安定なシリコーンオイルを用いた液冷により圧電素子の温度上昇と変動を低減することで,高周波駆動時の変位特性の変化が低減できるかを検証する.(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *HF【周波数】 ,  *シリコーン油 ,  制御 ,  *フィードバック制御 ,  *熱 ,  *アクチュエータ ,  *電気抵抗 ,  位置決め制御 ,  Joule熱 ,  静電アクチュエータ
準シソーラス用語： 高周波 ,  シリコーンオイル

分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (2件)：

• Mohammad Al Janaideh, Mohammad Al Saaideh, Micky Rakotondrabe, “On hysteresis modeling of a piezoelectric precise positioning system under variable temperature”, Mechanical Systems and Signal Processing, Vol. 145, 106880 (2020)
• 西田莉那,鍾建朋,進士忠彦,“積層型圧電素子の液冷の研究”,2020年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, pp. 288-289 (2020)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコーンオイル ,  液冷 ,  温度制御 ,  積層型圧電素子 ,  高周波駆動 ,  変位