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J-GLOBAL ID：202102285167868267   整理番号：21A1421388

ALD技術を取り入れた全反射鏡の開発およびX線反射率測定による性能評価

著者 (8件)： 武尾舞 (都大) ,  中庭望 (都大) ,  江副祐一郎 (都大) ,  石川久美 (都大) ,  伊師大貴 (都大) ,  石田學 (宇宙科研) ,  前田良知 (宇宙科研) ,  沼澤正樹 (理研)
資料名： 日本天文学会年会講演予稿集
巻： 2021  号： 春季  ページ： 211  発行年： 2021年02月20日 
JST資料番号： S0300B  ISSN： 1347-0639  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は、角分解能を飛躍的に高める可能性を秘めた、シリコン高温塑性変形によるX線望遠鏡の開発に取り組んでいる。これまでの多重薄板望遠鏡がもつ軽量大面積という特徴を生かしつつ、反射鏡基板をシリコンとすることで形状精度を大幅に高め、10秒角に迫る...【本文一部表示】

シソーラス用語： 高温 ,  プラズマ ,  薄膜 ,  *反射鏡 ,  *反射率 ,  望遠鏡 ,  ケイ素 ,  白金 ,  アルミナ ,  多層膜 ,  *全反射 ,  塑性変形 ,  化学蒸着 ,  薄膜形成 ,  *X線反射率

分類 (1件)： 流星,すい星,いん石  (DB04040A)

タイトルに関連する用語 (5件)： ALD ,  全反射鏡 ,  開発 ,  X線反射率測定 ,  性能評価