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J-GLOBAL ID：202202252691907667   整理番号：22A2571380

鋼表面上への新しいダイヤモンド化学蒸着法

A New Diamond Chemical Vapor Deposition Method on Steel Surface

著者 (6件)： SHIRAISHI Ryoya (Graduate School of Sciences and Technology for Innovation, Yamaguchi University) ,  TOYOTA Hiromichi (Graduate School of Science and Engineering, Ehime University) ,  ZHU Xia (Graduate School of Science and Engineering, Ehime University) ,  MATSUMOTO Kengo (Graduate School of Science and Engineering, Ehime University) ,  NOMURA Shinfuku (Graduate School of Science and Engineering, Ehime University) ,  IWAMOTO Yukiharu (Graduate School of Science and Engineering, Ehime University)
資料名： Journal of the Japan Institute of Energy (Web)  (Journal of the Japan Institute of Energy (Web))
巻： 101  号： 8  ページ： 147-151(J-STAGE)  発行年： 2022年 
JST資料番号： U1021A  ISSN： 1882-6121  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンドコーティングされた鋼は,特に工具にとって優れた材料である。しかし,化学蒸着法による鋼表面へのダイヤモンド直接蒸着は困難であるとされている。本研究では,化学蒸着法による直接蒸着を可能にするため,ステンレス鋼の表面に機械加工処理を施した。ステンレス鋼の表面を,サンドペーパーで研磨した場合,金属やすりで研磨した場合,フラットドリルで切削した場合では,稀にダイヤモンド膜が生成されたがほとんどの場合はアモルファスカーボンだった。これに対し,ステンレス鋼表面にドリルで規則的な窪みのパターンを作った場合,高頻度で高品質のダイヤモンドが得られた。この場合,ダイヤモンドは窪みの縁の部分,または窪みと窪みの間の平らな部分(加工されていない部分)に堆積した。本研究で得られたダイヤモンド膜の品質は,これまでに報告された「化学蒸着法による鋼表面へのダイヤモンド直接蒸着」の中で最高である。中間層なし,シーディングなしの条件で,「シンプルな機械加工のみで鋼表面へ高品質のダイヤモンドを直接蒸着可能である」ということは重要な発見である。(著者抄録)

シソーラス用語： *ステンレス鋼 ,  *ダイヤモンド ,  マイクロ波 ,  薄膜 ,  表面被覆 ,  表面仕上 ,  *プラズマCVD ,  合成鉱物 ,  研磨 ,  ドリル加工 ,  研磨紙 ,  やすり ,  円孔 ,  走査電子顕微鏡 ,  Raman分光法 ,  ダイヤモンド膜 ,  合成ダイヤモンド ,  *CVDダイヤモンド ,  *鉱石 ,  *宝石 ,  機械工作
準シソーラス用語： *化学蒸着ダイアモンド

著者キーワード (4件)： ダイヤモンド ,  CVD ,  液体内プラズマ ,  鋼

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (18件)：

• 1) Bulut, B.; Tazegul, O.; Baydogan, M.; Kayali, E. S., J. Achi. Mate. Manu. Eng., 76, 30-34 (2016)
• 2) Gautama, P.; Toyota, H.; Iwamoto, Y.; Zhu, X.; Nomura, S.; Mukasa, S., Precision Engineering, 49, 412-420 (2017)
• 3) Toyota, H.; Nomura. S.; Mukasa, S.; Takahashi, Y.; Okuda, S., Diam. Relat. Mater., 19, 418-422 (2010)
• 4) Li, X.; He, L.; Li, Y.; Yang, Q., Micromachines, 11, 719, (2020)
• 5) Damm, D. D. et al., Coatings, 7, 141 (2017)

タイトルに関連する用語 (3件)： 鋼 ,  ダイヤモンド ,  化学蒸着法